高维持电压双向可控硅静电保护器件

摘要

本实用新型提供了一种高维持电压双向可控硅静电保护器件，包括多个单指器件，每两个单指器件之间共用阳极构成多个双指器件，多个双指器件之间共用阴极；每个单指器件包括：N型埋层、深N阱、浅N阱、第一浅P阱和第二浅P阱。浅N阱上侧设置有一个N+重掺杂区，第一浅P阱上侧设置有一个N+重掺杂区和一个P+重掺杂区，第一浅P阱和第二浅P上侧横跨设置一个P+重掺杂区；每个深N阱中靠近击穿面一侧的P+重掺杂区浮空，其余N+重掺杂区和P+重掺杂区相连，所有深N阱中相连的N+重掺杂区和P+重掺杂区依次交替作为阳极或阴极。达到了高失效电流、高维持电压、版图面积小，双向防护和器件开启速度快等特点。