法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-02
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B21/36 专利号:ZL2019222618565 申请日:20191217 授权公告日:20201120
专利权的终止
机译: 用于扫描型探针显微镜的悬臂模块,是用于扫描型探针显微镜的悬臂模块,包含在堆积区域中
机译: 2用于提供两个或多个模块的对齐堆叠的组件,以及包含此类组件的光刻系统或显微镜系统
机译: 用于提供两个或多个模块的对齐堆栈的组件以及光刻系统或包含此类组件的显微镜系统