公开/公告号CN211603839U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-09-29
原文格式PDF
申请/专利权人 田菱精密制版(深圳)有限公司;
申请/专利号CN202020289547.9
申请日2020-03-10
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构44599 深圳市深可信专利代理有限公司;
代理人彭光荣
地址 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道固戍航城大道愉盛工业园1栋二楼
入库时间 2022-08-22 17:02:39
机译: 用于曝光机和曝光设备的光源装置,包括相同的曝光设备
机译: 曝光机光源更换系统及曝光机
机译: 使用微镜投射光学系统的曝光机,以及使用该曝光机制造装置的方法