应用于LCOS系统位相调制工作台的低速运动控制系统

摘要

本实用新型公开了一种应用于LCOS系统位相调制工作台的低速运动控制系统，所述低速运动控制系统包括工作台、运动控制器、电机驱动电路和电机；所述运动控制器，用于接收所述工作台的二维物理坐标信号且向LCOS系统位相调制器件发送曝光的开关指令；所述电机驱动电路，用于发出的驱动电压控制信号。本实用新型利用脉冲激光能量大、脉宽短、重复频率高特点，基于单个脉冲实现单帧偏振图案记录，对于工作台的运动精准控制，实现了曝光面积大、效率高、可靠性好的优点。