功率放大器芯片生产用接触式光刻机

摘要

本实用新型公开了一种功率放大器芯片生产用接触式光刻机，包括底板，底板的上表面固定有支撑柱，支撑柱的一侧表面上部固定安装有光刻主体，底板的上方沿水平方向活动安装有移动下板，移动下板的上方沿水平方向活动安装有移动上板，移动上板的上表面通过焊接固定有两个支撑块，两个支撑块的顶端通过焊接水平固定有安装板，安装板的底部沿水平方向活动安装有两个连接板，连接板的上表面两端均固定安装有支撑座，支撑座的顶端固定安装有托板，托板上安装有衬底晶片；该接触式光刻机的托板便于调节，可以对不同尺寸的衬底晶片进行装载光刻，适应性强，通过第一电机和第二电机可以对衬底晶片的位置进行调节。