法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-05
专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/27 登记生效日:20170315 变更前: 变更后: 申请日:20140227
专利申请权、专利权的转移
2016-07-06
授权
授权
2014-08-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20140227
实质审查的生效
2014-07-09
公开
公开
机译: 外延金刚石膜的基础基板,外延金刚石膜的基础基板的制造方法,由该外延金刚石膜的基础基板制造的外延金刚石膜,以及外延金刚石膜的制造方法
机译: 表观金刚石膜的基体,制造基体金刚石膜的方法,由基体金刚石膜基体制造的基体金刚石膜,以及表皮金刚石膜的制造方法
机译: 表观金刚石膜的基体,制造基体金刚石膜的方法,由基体金刚石膜基体制造的基体金刚石膜,以及表皮金刚石膜的制造方法