公开/公告号CN210938622U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-07-07
原文格式PDF
申请/专利权人 河南卓金光电科技股份有限公司;
申请/专利号CN201921178146.X
发明设计人 沈江民;
申请日2019-07-25
分类号
代理机构深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙);
代理人谢肖雄
地址 471000 河南省洛阳市伊滨区佃庄镇大郎庙村
入库时间 2022-08-22 15:04:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-07
授权
授权
机译: 旋转圆筒型磁控溅射阴极靶组件,溅射阴极组件,溅射系统及使用该溅射膜的薄膜生产工艺
机译: 用于绝缘或低电导率层的反应磁控溅射设备-使用阳极电势相对隔离与阴极靶外部的等离子体接触的所有部分
机译: 用于通过溅射涂覆移动基板的管磁控管装置,包括连续点燃旋转管靶的靶表面上的等离子体,该靶被切换为阴极并且使用布置在管靶附近的阳极