机译:反应磁控溅射过程中的靶中毒:第一部分:离子注入的影响
sputtering magnetron; reactive; target poisoning; modelling; SILICON; ENERGY; BEAMS; NITRIDATION; SURFACE; MODEL;
机译:反应磁控溅射过程中的靶中毒:第一部分:离子注入的影响
机译:反应磁控溅射过程中的目标中毒:第二部分:化学吸附和吸杂的影响
机译:反应磁控溅射过程中的目标中毒:第三部分:临界反应气体摩尔分数的预测
机译:金属靶的反应溅射:活性原子植入的影响
机译:溅射靶腐蚀及其对长时间直流磁控溅射镀膜的影响
机译:磁控溅射不同磷酸钙靶材对氧化锆陶瓷植入物表面的改性研究
机译:高功率脉冲磁控溅射和不平衡磁控溅射技术在CrN沉积过程中靶中毒