一种F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜

摘要

本实用新型涉及一种F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜，沿着915nm激光入射方向依次设置第一透镜、第二透镜、第三透镜，第一透镜为双凸透镜，第二透镜为平凸透镜，第三透镜为双凸透镜，第一透镜与第二透镜的中心间隔d2＝12.7mm，第二透镜与第三透镜的中心间隔d4＝4.1mm，本实用新型达到的性能参数是：焦距为40mm，数值孔径为0.5，入瞳直径为20mm，非球面准直镜几乎接近衍射极限，波像差小于0.22λ。本实用新型应用于激光微加工系统，可以解决同轴高度跟踪，加工后深度等尺寸的测量问题，从而提高设备仪器的智能化与精密化水平。