一种基于铰链结构的中空型调心调平机构

摘要

本实用新型属于超精密检测测量加工技术领域，具体为一种基于铰链结构的中空型调心调平机构。调心调平机构包括：调平装置底座、上下转轴座及其转轴、铰链中继环、调平装置上板、调心精密调节螺纹副、调平螺钉和调心载物台；其中调心结构与调平机构通过铰链中继环连接，通过精密调节螺纹副实现机构的调心功能和锁死，通过调平螺钉实现机构调平的功能并锁死；本实用新型通过巧妙设计，实现了一种中空型的调节机构，缩短了各个调节平面的间距，也避免了柔性铰链方式的刚度不足以及小量程的缺点，在减小系统复杂度的同时，降低了成本，同时还能保证足够的调节精度，对于大型工件的测量和加工提供了很好的解决方案。