公开/公告号CN210272299U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-04-07
原文格式PDF
申请/专利权人 长鑫存储技术有限公司;
申请/专利号CN201921431526.X
发明设计人 时旭;
申请日2019-08-30
分类号
代理机构上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人孙佳胤
地址 230001 安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
入库时间 2022-08-22 13:09:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-07
授权
授权
机译: 晶圆存储装置,承载板和晶圆盒
机译: 晶圆存储装置,承载板和晶圆盒
机译: 晶圆支架清洗装置,包括该晶圆支架的自动机械处理系统以及在集成电路制造过程中处理晶圆支架的方法