一种可控阵列式场发射X射线源装置

摘要

本实用新型公开了一种可控阵列式场发射X射线源装置，包括封装在外壳内部的场发射电子源部分、X射线源部分以及在外壳外部的测量系统。场发射电子源部分包括阵列式阴极、载有用于控制阵列式阴极发射电子密度和区域的IC芯片的PCB板、网状栅极。PCB板正面设有若干金属凸点，阵列式阴极置于网状栅极的后方并通过金属凸点与PCB板电路相连。通过金属凸点与阵列式阴极相连接，增加了阵列式阴极的散热面积，提高了散热效率，保证了场发射电子源的稳定性。