一种直拉硅晶体生长热场结构

摘要

本实用新型专利涉及直拉硅单晶生长领域，具体涉及一种直拉硅晶体生长热场结构。包括电极座和多个加热器组件；加热器组件在竖直方向呈S形连续折返结构，其水平方向截面形状呈圆弧形，每个加热器组件的首尾两端分别接至一个电极座；多个加热器组件之间通过电极座首尾相连，组成一个圆环形的热场结构。本实用新型加热器由整体圆改为1/4圆弧或1/2圆弧，减少对石墨原材料尺寸要求；加热器局部损坏后可通过更换单个组建恢复使用，降低使用成本；更改为1/4圆弧或1/2圆弧后原料利用率提高，采购成本降低。