一种微型面发射光电芯片阵列光电性能巨量检测系统

摘要

本实用新型公开了一种微型面发射光电芯片阵列光电性能巨量检测系统，用于呈一定间距分布的面发射光电芯片阵列的光电性能检测，包括转移驱动装置、转移头、衬底放置台、检测电路基板、芯片放置台、光学探测器，所述衬底放置台、检测电路基板、芯片放置台依次排列于所述转移驱动装置的同一侧，所述转移头固定安装于转移驱动装置的移动执行端，并在衬底放置台和芯片放置台之间的上方往返移动，所述光学探测器位于检测电路基板的正下方。本实用新型可实现微型面发射光电芯片组在巨量转移过程中同时实现光电性能的巨量同步检测，检测效率高，适用于微型面发射光电芯片，如微型LED芯片或小型LED芯片的光电性能巨量检测。