一种微型面发射光电芯片阵列光电性能巨量检测系统及其方法

摘要

本发明公开了一种微型面发射光电芯片阵列光电性能巨量检测系统及其方法，该系统包括转移驱动装置、转移头、衬底放置台、检测电路基板、芯片放置台、光学探测器，衬底放置台、检测电路基板、芯片放置台依次排列于所述转移驱动装置的同一侧，转移头固定安装于转移驱动装置上，光学探测器位于检测电路基板的正下方。该方法包括以下步骤：S1放置芯片阵列；S2负压吸附芯片；S3芯片检测就位；S4光电性能检测；S5芯片转移释放；S6循环拾取及检测。本发明可实现微型面发射光电芯片组在巨量转移过程中同时实现光电性能的巨量同步检测，检测效率高，适用于微型面发射光电芯片，如微型LED芯片或小型LED芯片的光电性能巨量检测。