一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置

摘要

本实用新型属于电子束蒸镀技术领域，尤其为一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置，包括蒸镀装置本体，所述蒸镀装置本体上开设有真空腔，所述真空腔内设有基板支架，所述基板支架与真空腔的顶部内壁转动连接，所述真空腔的底部内壁上固定安装有安装座，所述安装座的顶部开设有安装槽，所述安装槽内活动安装有托板，所述托板的两侧均固定安装有安装块，所述安装块上转动安装有内螺纹管，所述内螺纹管内螺纹安装有螺纹杆，所述螺纹杆的顶端和低端均延伸至内螺纹管外，所述螺纹杆的底端固定安装有挂钩。本实用新型操作简单，实用性强，方便蒸镀材料的放置，同时，便于对蒸镀材料支撑装置进行清理，提高ITO膜的质量。