公开/公告号CN209016028U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-06-21
原文格式PDF
申请/专利权人 山东元旭光电股份有限公司;
申请/专利号CN201821958262.9
申请日2018-11-26
分类号H01L21/67(20060101);
代理机构37105 济南诚智商标专利事务所有限公司;
代理人杨筠
地址 261000 山东省潍坊市高新区玉清街以北银枫路以西光电园第三加速器西区
入库时间 2022-08-22 09:35:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-21
授权
授权
机译: 晶圆支撑治具,用于热处理
机译: DMD切割后的假晶圆加工方法及治具
机译: 背面晶圆蚀刻治具