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一种磊晶基板的加工装置

摘要

本实用新型公开了一种磊晶基板的加工装置,其结构包括工作台,所述工作台上设置有支撑架、放置板、除尘装置和固定杆,所述支撑架固定连接在所述工作台的上表面,所述放置板固定连接在所述支撑架的内侧,所述除尘装置固定连接在所述工作台底部的右侧,所述固定杆固定连接在所述放置板的右侧,所述支撑架上设置有第一推动器和第二推动器,所述第一推动器固定连接在所述支撑架上端的中间处,所述第二推动器固定连接在所述支撑架上端的右侧。本实用新型增强了基板在切割过程中的稳定性,降低了基板切割过程中损坏的几率,提高了基板切割时长度的精确性,避免了切割下的基板与工作台发生碰撞,提高了基板加工环境的质量。

著录项

  • 公开/公告号CN208970487U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2019-06-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 张婷;

    申请/专利号CN201821743684.4

  • 发明设计人 张婷;

    申请日2018-10-26

  • 分类号H01L21/67(20060101);H01L21/687(20060101);

  • 代理机构35222 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人郭福利

  • 地址 350800 福建省福州市闽清县梅城镇过垅山新村22号

  • 入库时间 2022-08-22 09:27:56

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-24

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/67 登记生效日:20191205 变更前: 变更后: 申请日:20181026

    专利申请权、专利权的转移

  • 2019-06-11

    授权

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