应用于高真空装置的全密封精确定位调节机构

摘要

本实用新型的公开了一种应用于高真空装置的全密封精确定位调节机构，它能够提高实验测量结果的精确度，同时解决高真空密封和高温烘烤承受的问题。传动轴被真空内置支撑轴承和磁耦合机构定位于真空管道内，通过磁耦合系统与外部的转动齿轮和滚珠丝杆相连接。旋转步进电机通过转动齿轮精确调节传动轴的旋转角度，平移步进电机通过滚珠丝杠精确调节传动轴的平移位置。本发明有效地解决了高真空装置内探测器的水平和旋转全密封精确定位调节，适用于高真空和高温烘烤的聚变研究实验装置上。