晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置

摘要

本实用新型属于晶圆制造技术领域，特别涉及一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置。包括固定防溅环、内防溅环、一级过滤装置、升降防溅环、升降防溅环驱动机构及排风管路，其中固定防溅环、内防溅环及升降防溅环由外到内依次嵌套设置、且内防溅环与固定防溅环之间留有环隙，一级过滤装置设置于内防溅环的下端，升降防溅环驱动机构与升降防溅环连接，用于驱动升降防溅环升降，排风管路与固定防溅环连接、且与内防溅环与固定防溅环之间的环隙连通。本实用新型具有三层过滤系统以及特有的排风流场，阻止金属碎屑进入排风管道及雾气凝结后累积在排风管道中，解决了以往剥离腔体做工艺时出现的雾气外溢，风道堵塞及金属回收率低等问题。