一种光刻机的光罩存放单元及光刻机

摘要

本实用新型公开了一种光刻机的光罩存放单元及光刻机，光刻机的光罩存放单元包括光罩存放台，光罩存放台上设置有光罩支撑架和喷嘴支撑架，光罩存放单元连接一干燥净化装置，干燥净化装置接入干燥气。采用实用新型的技术方案降低了光罩存放单元的环境湿度，抑制了光罩雾化的生长速度，实现提高产品良率，避免了光罩送洗断线所造成的经济损失。