公开/公告号CN207930490U
专利类型实用新型
公开/公告日2018-10-02
原文格式PDF
申请/专利权人 长沙升华微电子材料有限公司;
申请/专利号CN201721432462.6
申请日2017-10-31
分类号
代理机构北京旭路知识产权代理有限公司;
代理人董媛
地址 410604 湖南省长沙市宁乡金洲新区澳洲路068号恩吉创业园
入库时间 2022-08-22 06:32:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-02
授权
授权
机译: 湿式抛光法,沉积镀敷法,工件抛光法,工件缓冲装置,桶抛光装置,工件的表面处理方法,工件支撑单元和用于桶抛光装置的抛光介质
机译: 涡旋桶抛光机的密封保护方法及带密封装置的涡旋桶抛光机
机译: 离心桶的桶桶,其制造方法以及离心桶抛光机