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一种用于小尺寸软质金属工件抛光的抛光机桶内桶

摘要

本实用新型针对现有技术中存在的抛光机抛光小尺寸CPC和CMC等软质金属工件时工件之间的碰撞问题,提供一种用于小尺寸软质金属工件抛光的抛光机桶内桶,包括桶体、水平隔层、竖向隔层、两端有螺纹/内螺纹的固定杆,所述水平隔层、竖向隔层将桶体分割成多个封闭单元。每个封闭单元内放置一个待抛光工件,再放入一定的抛光料。之后将完成的内桶整体放入抛光机的抛光桶中,抛光料、水和抛光液填充至没过桶体,即可开始抛光加工。本实用新型有效解决了抛光机抛光过程中,CPC和CMC等具有软质表面工件相互碰撞的问题,实现了用机器替代现有人工来抛光小尺寸软质金属工件,极大的提高了抛光工序的生产效率。

著录项

  • 公开/公告号CN207930490U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2018-10-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 长沙升华微电子材料有限公司;

    申请/专利号CN201721432462.6

  • 发明设计人 陈昱晖;姜国圣;吴化波;张琼美;

    申请日2017-10-31

  • 分类号

  • 代理机构北京旭路知识产权代理有限公司;

  • 代理人董媛

  • 地址 410604 湖南省长沙市宁乡金洲新区澳洲路068号恩吉创业园

  • 入库时间 2022-08-22 06:32:24

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-10-02

    授权

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