生长在r面蓝宝石衬底上的非极性AlGaN基MSM型紫外探测器

摘要

本实用新型公开了生长在r面蓝宝石衬底上的非极性AlGaN基MSM型紫外探测器。该紫外探测器，由下至上，依次包括r面蓝宝石衬底、非极性GaN缓冲层、非极性AlGaN层以及与非极性AlGaN层肖特基接触的Ni/Au金属叉指电极。本实用新型的紫外探测器具有暗电流小、光响应度高的特点，对紫外光的具有十分灵敏的探测效果。