晶圆夹持旋转装置及晶圆清洗槽

摘要

本发明公开了一种晶圆夹持旋转装置，其特征在于，包括：下表面用于固定晶圆的下基板，所述下基板可转动地设置；夹持夹子，所述夹持夹子包括向基板中心延伸的钩体；钩体位于下基板下方；夹持夹子受驱动朝向下基板运动和远离下基板运动。本发明中的晶圆夹持旋转装置，既可以固定晶圆，又可以带动晶圆旋转。清洗时可以保证全面清洗晶圆。清洗效果均匀。电镀或蚀刻时，既可以保证电镀或蚀刻晶圆的每一个部位，又可以保证电镀、蚀刻均匀。而且本发明使用方便。