一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器

摘要

本实用新型公开的一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器，包括至少两个阻值不同、但结构相同的发热环和支撑腿，每个发热环具有相对的第一端部和第二端部，发热环具有多个自第一端部向第二端部延伸的第一狭槽以及多个自第二端部向第一端部延伸的第二狭槽，多个第一狭槽与多个第二狭槽交替设置，每个发热环上具有至少两个安装部，至少两个发热环的安装部对应固定于支撑腿。本实用新型一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器解决了现有的加热器无法通用的问题。其将加热结构分为至少两个阻值不同的加热环，通过调整加热环的数量及阻值来实现不同的温度梯度分布，即可满足不同的直拉单晶生产工艺需求。