叉状件用定位工具、叉状件以及基板输送装置

摘要

本实用新型提供一种叉状件用定位工具、叉状件以及基板输送装置。其中，能够以较高的输送可靠性输送多个基板。使用叉状件用定位工具(150)而使沿着上下方向配置成多层、且支承基板(W)的多个叉状件(111～115)排列整齐，该叉状件用定位工具(150)具有：主体部(151)；多个定位部(152)，其从所述主体部(151)延伸，通过贯穿于在各叉状件(111～115)形成的多个通孔(119)，而使多个叉状件(111～115)排列整齐。