一种漏斗型Pocket结构的载板

摘要

本实用新型公开了一种漏斗型Pocket结构的载板，包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片的载板，载板上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket，每个Pocket中分别设置有平滑曲面台阶，Pocket包括直线部分和曲面部分，Pocket的截面为漏斗状，Pocket内用于放置电池片，电池片和载板构成线接触结构，其消除镀膜电池片表面EL黑点，避免载板在自动化放片和取片过程中，将电池片放倾斜、掉片，在传输过程中导致电池片飞出Pocket，减少电池片与载板的直接接触面积，且避免自动化放片不稳定，避免放不正导致的镀膜均匀性受影响，改善电池片镀膜均匀性，提高电池片的转换效率和良率。