一种检测加速度的高灵敏光纤微悬臂梁传感器

摘要

本实用新型公开了一种检测加速度的高灵敏光纤微悬臂梁传感器。包括光纤，光纤的一端面设有反射镜；光纤的包覆层开有一法布里‑珀罗腔；采用皮秒激光脉冲对光纤包层进行加工刻蚀得到光纤微悬臂梁和加速度敏感质量块；在法布里‑珀罗腔一侧为一光纤微悬臂梁；光纤微悬臂梁一表面成形一加速度敏感质量块；加速度敏感质量块与反射镜构成干涉型光纤传感器。本实用新型通过采用一根通信光纤集传感和传输于一体，实现加速度信号探测和传输，实现远程实时监测；并且，该传感器尺寸小，体积轻，适用于空间有限环境下的加速度监测需求；采用激光加工工艺用于光纤悬臂梁制造，速度快，易于规模化，能够降低制造成本。