基于元胞自动机的刻蚀表面演化模型压缩方法

摘要

本发明涉及一种面向元胞自动机的刻蚀表面演化模型的压缩方法，属于微电子加工中刻蚀过程模拟领域；该方法采用游程编码对表面演化模型进行压缩表示，首先对各部分的材料元胞进行属性定义，分别定义了单个元胞材料编码和整体材料编码；然后根据模型特征选择以模型的垂直列为压缩单元，根据游程编码制定相应的压缩规则；分别对模型的每个垂直列自上而下进行压缩，从而实现模型的压缩表示。本发明既大幅度地减少了模型表示所需的内存空间，又保证了仿真过程的计算效率。