一种激光诱导气相沉积系统的材料升华反应装置

摘要

一种激光诱导气相沉积系统的材料升华反应装置，包括：腔体、温度传感器、加热保温装置和气压检测阀，腔体内设置有第一气体缓存室、第一过滤网、第二过滤网和第二气体缓存室。由于改变了腔体的放置方式和进气口/出气口的设置，使得气流不再由下而上输入，改为水平流动；由于增加过滤网、第一气体缓存室和第二气体缓存室，控制了输出气体的洁净度和气体流速的稳定性；由于设置匀气栏栅扩大气体流表面积和利用气压检测阀检测和第二气体缓存室的气压，保证了输出气体的浓度稳定性。