一种等离子体氧化抛光系统

摘要

本实用新型公开了一种等离子体氧化抛光系统，系统包括氦气罐，氦气罐通过气管连接水瓶，接水瓶通过气管连通抛光工作室，抛光工作室包括水平设置的旋转台，旋转台上设置有抛光块，抛光块的上表面上放置样品，样品上方固定连接旋转电机，旋转台的上表面还连接电极，旋转台和电极分别通过导线连接手动匹配器，手动匹配器连接射频电源；本实用新型产品便于调整射频电源功率，且易于更换氧化气流组成，同时还具有水蒸气含量可调节、自由基的浓度可检测的特点。