基于白光干涉的偏振交叉耦合测量装置

摘要

本发明公开的基于白光干涉的偏振交叉耦合测量装置，包括前光路系统、后光路系统、光学平台、平移台控制器和控制工控机；前、后光路系统固定安装在光学平台上；前光路系统把光源输出的光波转化成为线偏振光；后光路系统的分束棱镜、固定角锥棱镜、移动角锥棱镜和机械平移台构成Michelson空间干涉仪；平移台控制器控制机械平移台平移，同时实时监测其位置信息；光电探测器将分束棱镜输出的干涉光信号转换为电压信号；控制工控机将光电探测器输出的电压信号和同一时刻机械平移台的位置信息进行相关匹配，进而得到被测光学器件中与缺陷点相对应的偏振交叉耦合的幅值和位置。本发明可以不受温度变化等环境因素的影响，实现对偏振交叉耦合的大量程、精确测量。