公开/公告号CN206751919U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-12-15
原文格式PDF
申请/专利权人 上海征世科技有限公司;
申请/专利号CN201720326862.2
申请日2017-03-30
分类号
代理机构上海精晟知识产权代理有限公司;
代理人冯子玲
地址 201799 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧
入库时间 2022-08-22 03:22:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-15
授权
授权
机译: 一种主要尺寸约为一个波长的自立式微波等离子体CVD多晶金刚石薄膜的制造方法
机译: 一种主要尺寸约为所用微波的一个波长的自立式微波等离子体CVD多晶金刚石薄膜的制造方法
机译: 一种主要尺寸约为一个波长的自立式微波等离子体CVD多晶金刚石薄膜的制造方法