法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H02J3/40 授权公告日:20171110 终止日期:20180417 申请日:20170417
专利权的终止
2017-11-10
授权
授权
机译: 微机械麦克风装置和用于制造微机械麦克风装置的方法
机译: 用于将MEMS(微机电系统)超声转换的装置,一种PMUT(压电微机械超声换能器)装置以及一种将有源转换器与多个钝化层相结合的有源矩阵转换器(一种方法)和一种用于解决问题的方法系统)超声波
机译: 用于制造至少一个微机械部件的方法,以及用于传感器装置或麦克风装置的微机械部件