一种基于双Dove镜下的光学同轴和离轴干涉相位成像系统

摘要

本实用新型提供了一种基于双Dove镜下的光学同轴和离轴干涉相位成像系统，包括光束整形系统、干涉系统和成像系统；所述光束整形系统位于光源光路上，用于放大光束，且产生平行光束；所述干涉系统包括第一全反镜、第二全反镜、BS镜和双Dove镜，所述双Dove镜包括第一Dove镜和第二Dove镜，所述第二Dove镜底面与第一Dove镜底面相向胶合，且底面镀半透半反膜；所述显微物镜位于所述双Dove镜上方，用于放大接收到的所述参考光和物光；所述CCD集成在显微物镜上，用于记录和分析参考光和物光的像。本实用新型通过采用Dove镜分别对样品光与参考光进行分光和合光，结构简单、稳定，易于操作。