一种基于双FP腔的同轴分幅高速成像和干涉测量方法

摘要

本发明公开了一种基于双FP腔的同轴分幅高速成像和干涉测量方法，包括将激光分为若干路光束，光束通过光程不等的前FP腔，使得每束光具有不同的脉冲间隔，再通过分光镜将光束合成一路照明光照射物体，经物体反射或透射后的光通过分光镜分成若干路光束，每一束光通过一个后FP腔后到CCD。本发明无参考光全光光路将FP干涉图像在时间和空间上分开，而不需要借助机械或光电快门，可以同时实现高的时间分辨和空间分辨能力；二是具备同轴分幅成像能力，即每幅图像具有相同的视角；三是可用于任意反射物体和透射物体的测量。