一种用于提高晶圆湿洗机清洗速度和质量的装置

摘要

一种用于提高晶圆湿洗机清洗速度和质量的装置，它包括箱体，箱体内设置有带孔支架、电热管、温控探针、进气管；所述带孔支架上可拆卸的设置有晶圆放置架；所述进气管顶端伸出于箱体上端且进气管顶端设置有压力表、流量调节阀，所述进气管末端设置有出气管；所述箱体外设置有控制器，所述控制器与温控探针、电热管连接。本实用新型的目的是提供一种用于提高晶圆湿洗机清洗速度和质量的装置，结构简单，可提高清洗的效率及质量。