公开/公告号CN206340529U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-07-18
原文格式PDF
申请/专利权人 杭州大和热磁电子有限公司;
申请/专利号CN201621412735.6
申请日2016-12-21
分类号
代理机构杭州杭诚专利事务所有限公司;
代理人尉伟敏
地址 310053 浙江省杭州市滨江区滨康路668号、777号
入库时间 2022-08-22 02:44:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-18
授权
授权
机译: 用于半导体扩散步骤的石英舟的晶片支撑机构
机译: 半导体制造用扩散设备的石英舟
机译: 水下配舟