公开/公告号CN205984924U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 奥特斯维能源(太仓)有限公司;
申请/专利号CN201620963362.5
申请日2016-08-26
分类号
代理机构北京品源专利代理有限公司;
代理人张海英
地址 215434 江苏省常州市太仓市港口开发区平江路88号
入库时间 2022-08-22 02:13:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/673 授权公告日:20170222 终止日期:20180826 申请日:20160826
专利权的终止
2017-02-22
授权
授权
机译: 用于半导体扩散步骤的石英舟的晶片支撑机构
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机译: 用于薄膜热处理的石英舟方法和设备