一种基于合成干涉信号偏振态检测技术的纳米测量装置

摘要

本实用新型公开了一种基于合成干涉信号偏振态检测技术的纳米测量装置。本实用新型由激光干涉单元和偏振态检测单元两部分组成。激光干涉单元在单频迈克尔逊干涉仪的基础上加入偏振元件，以实现激光偏振态的转换。偏振检测单元为采用基于电光液晶相位调制的偏振测量系统。偏振态检测单元能测出激光干涉单元出射光Stokes矢量，由Stokes矢量获得偏振光的椭圆度角ε和方位角θ。方位角θ与移动镜的位移Δx存在线性关系，由此可以获得高分辨率位移细分，并且没有测量范围上的限制。本装置采用光电相位调制测量激光偏振态，避免了常用旋转波片法的机械误差，且具有测量速度快，测量范围大、测量精度高，光路简单等优点。