一种基于合成干涉信号偏振态检测技术的纳米测量系统

摘要

本发明公开了一种基于合成干涉信号偏振态检测技术的纳米测量系统。本发明由激光干涉单元和偏振态检测单元两部分组成。激光干涉单元在单频迈克尔逊干涉仪的基础上引入偏振态转换技术，以获得含有位移信息的合成线性偏振光。偏振检测单元为采用基于电光液晶相位调制的偏振测量系统。偏振态检测单元能测出激光干涉单元出射光Stokes矢量，由Stokes矢量获得偏振光的椭圆度角ε和方位角θ。方位角θ与移动镜的位移Δx存在线性关系，借助偏振态相位调制技术，实现方位角θ的测量，从而实现高分辨率的相位细分。通过监测椭圆度角ε，结合波片位置调节法，可减小干涉仪光学非线性误差。本发明能实现高分辨率、大范围的纳米测量，且系统具有光学非线性自校正的功能。