公开/公告号CN206111816U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 晋江市东亨工业设计有限公司;
申请/专利号CN201621152288.5
发明设计人 李耀强;
申请日2016-10-31
分类号
代理机构北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人汤东凤
地址 362212 福建省泉州市晋江市池店镇桥南百捷华府5栋1102
入库时间 2022-08-22 02:24:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F16B47/00 授权公告日:20170419 终止日期:20181031 申请日:20161031
专利权的终止
2017-04-19
授权
授权
机译: 基板处理设备,用于从基板处理设备的真空吸盘上拆卸基板的方法以及将基板安装在基板处理设备的真空吸盘上的方法
机译: 一种用于真空吸盘的吸盘的制造方法
机译: 一种用于接收,运输和卸荷的装置,其升降套筒与真空发生器相连,并与吸盘和导向臂相连,并通过流体与控制单元和吸盘相连。