一种动态流导法测量真空器件残余气体分析系统装置

摘要

一种动态流导法测量真空器件残余气体分析系统装置，结构为：抽气装置的第一复合分子泵的出气端与第二复合分子泵的进气端连接；第二复合分子泵的出气端连接机械泵的进气端；复合分子泵与前级阀之间连接有电阻规；气体校准的进气装置的超高真空针阀的进气端依次通过气体质量流量计、进气阀、储气罐和减压阀连接气瓶的出气端；流导的流导与超高真空截止阀并联连接，流导构成超高真空截止阀的旁通管路，流导的两端与超高真空截止阀的两端分别对应连接；流导单元的进气端连接测量室；流导单元的出气端连接第二复合分子泵的进气端；测量室、壳体破拆装置和传动机构室都装在平台上；壳体破拆装置连接在测量室和传动机构室之间；测量室连接有质谱仪和真空计。