一种固定流导法流量计测量微型真空泵抽速的装置及方法

摘要

本发明公开了一种固定流导法流量计测量微型真空泵抽速的装置及方法。使用本发明能够实现微型真空泵抽速的精确测量。本发明使用固定流导法气体流量计，既能产生微小流量、又能保持长时间提供稳定气体流量，解决了微型真空泵抽速测量中所需微小稳定气体流量的难题；同时，避免了通常超高真空泵抽速测试用测试罩上下对称结构的方法，减小了测试罩内表面积，减小了测试罩表面积放气影响量，提高了测量准确性，实现了微型真空泵抽速的准确测量。