公开/公告号CN206066090U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司;
申请/专利号CN201621026066.9
发明设计人 刁克明;
申请日2016-08-31
分类号B24B1/00(20060101);
代理机构北京格允知识产权代理有限公司;
代理人周娇娇;谭辉
地址 100071 北京市丰台区小屯路150号
入库时间 2022-08-22 02:20:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-05
授权
授权
机译: 用于控制对象位置的纳米级和亚纳米级精度设备
机译: 即使在纳米级或亚纳米级范围内,也可以调节高分辨率的设备
机译: 即使在纳米级或亚纳米级范围内,也可以调节高分辨率的设备