公开/公告号CN206057794U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-03-29
原文格式PDF
申请/专利权人 天津芯硕精密机械有限公司;
申请/专利号CN201620920059.7
申请日2016-08-22
分类号
代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人邵晓玉
地址 300457 天津市滨海新区开发区黄海路167号
入库时间 2022-08-22 02:20:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-29
授权
授权
机译: 数字直写电子束光刻机
机译: 于制造光刻机集成式光刻机的设备和方法
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