一种LED用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤设备

摘要

本实用新型公开了一种LED用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤设备，包括外壳，所述外壳的内部由左至右依次设置有初次过滤装置、二次过滤装置和储水装置，且初次过滤装置、二次过滤装置和储水装置之间分别通过导流管一和导流管二串联在一起，储水装置远离二次过滤装置的一端加设有出水管，出水管的外表面加设有流量计，二次过滤装置包括消毒箱，消毒箱的内部靠近导流管一的一侧纵向设置有UV灯，UV灯的两端均通过固定座固定安装在消毒箱的内壁。本实用新型通过初步过滤装置、二次过滤装置及储水装置之间的相互配合使用，多元过滤，过滤的更加干净，达到了过滤彻底、洁净无物、降低冷却水的温度并保持其温度不变的效果。