用超短激光脉冲在光学透明薄层上打出精密孔的装置

摘要

所提出的是一种使用超短激光脉冲在光学透明薄层上打精密孔的装置，在该装置中用高数值孔径的物镜透过折射系数大于1.5的介质容量使激光辐射聚焦。这种装置用超短激光脉冲能在厚度达100微米的薄层上形成直径达5微米的孔。