超高真空吸气剂泵及其构成的超高真空大抽速吸气剂泵

摘要

一种超高真空吸气剂泵，包括吸气剂片、电加热器和结构连接件；电加热器设有封闭的壳体；吸气剂片直接连接在电加热器的壳体外壁上，或者，吸气剂片通过导热结构连接在电加热器的壳体外壁上；连接结构包括真空法兰；真空法兰的中间位置开有通孔，电加热器的尾端自真空法兰的一侧面穿过该通孔，并且，电加热器的壳体外壁与该通孔内壁焊接密封；在真空法兰的另一侧面设有电连接器。一种超高真空大抽速吸气剂泵，包括金属外壳和至少2个上述的超高真空吸气剂泵；各个超真空吸气剂泵并列连接；金属外壳的一端开口，该开口端焊接有真空法兰；金属外壳上的真空法兰与超高真空吸气剂泵上的真空法兰紧密连接；金属外壳的侧壁上开有连接口，该连接口的向外延长段上设有法兰接口。