一种改善MOCVD波长均匀性的金属有机物化学气相沉积装置

摘要

一种改善MOCVD波长均匀性的金属有机物化学气相沉积装置，涉及MOCVD外延片生产技术领域，本实用新型通过对现有加热器设计进行改良，将加热器ZoneA部分钨丝由外向中心部分高度逐步降低的方式，增加石墨盘背面第一圈、第二圈到加热丝的距离，降低中心区域位置的生长温度，从而改善因内外圈生长速率不一致造成的中心片及第二圈靠内侧的波长同时偏短现象，提高波长命中率，获得均匀性很好的外延片。